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操作步驟:
◆插上電源,氣管快速接頭接上高壓氣管;
◆打開電源開關(guān),將溫度設(shè)定于60℃(不同晶片膜溫差異士5℃);
◆將上氣缸開關(guān)撥至“上升”位置,上壓?;刂磷钌戏剑瑢⑾職飧组_關(guān)撥至下降位置,下壓?;刂磷钕路?反復(fù)幾次下氣缸動作,將上升速度調(diào)整至適合速度)
◆松開鎖扣,掀起上工件板,先將擴晶環(huán)內(nèi)環(huán)放于下壓模上,再將粘有晶片的翻晶膜放于下工件正中央,晶片朝上,將上工件板蓋上,鎖緊鎖扣。
◆將下氣缸開關(guān)撥至“上升”位置,下壓模徐徐上升,薄膜開始向四周擴散,晶粒間隔逐漸拉大,當(dāng)晶片間隔擴散至原來的2~3倍時既停止上升,將擴晶環(huán)外環(huán)圓角朝下平放在薄膜與內(nèi)環(huán)正上方。
◆將上氣缸開關(guān)撥至“下降”位置,上壓模下降,將擴散后的翻晶膜套緊定位上壓模回至最上方。
◆將下氣缸開關(guān)撥至“下降”位置,下壓模下降至最下方,取出擴晶完畢的翻晶膜,修剪多余膜面,送下工序備膠固晶。
注意事項:
◆氣缸工作時切勿將手接近或放入壓合面;
◆下壓模表面切勿用銳器敲擊,磨擦,以免形成傷痕;
◆機器安裝時,應(yīng)正確可靠接地;
◆機箱內(nèi)電源危險,箱門應(yīng)鎖緊;
◆更換加熱管或其它電器元件時,需在電源插頭拔下時方可進(jìn)行;
◆切勿用帶水或溶劑的抹布擦拭機器,以免產(chǎn)生漏電或燃燒危險。
維護保養(yǎng):
◆用干凈布塊擦拭附著灰塵,活動部位定期涂少許機油潤滑;
◆放置翻晶膜的位置必須干凈,附著的油脂及灰塵會污染晶片,造成不良品產(chǎn)生。
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