| 產品信息 | |||
| 品質保證/超長質保/運轉無憂 | |||
| 設備技術參數： | |||
| 名稱 | 晶圓擴膜機 | 型號 | DSXUV-WE8 |
| 設備尺寸 | L693*W445*692mm | 適應產品尺寸 | 晶圓3-8英寸 |
| 子母環(huán)大小 | 外環(huán)：249mm,內環(huán)：227mm | 功率 | <400W |
| 額定電壓 | AC 220V | 頻率 | 50/60HZ |
| 工作盤上升高 度/臺盤加熱 溫度 | 10-60mm/室溫0-80℃ (恒溫設計) | 氣壓 | 0.5-0.6Mpa |
| 膠膜類型 | 藍膜、UV膜、PVC膜等等 | 膠膜厚度 | 0.05-0.2mm |
| 切膜方式 | 圓周刀自動切膜 (因受圓周刀局限，臺面 需上升20mm后切割) | 擴膜功能 | 半自動式/手動控制 |
| 重量 | 大約60kg | 質保期 | 全新產品，非人為損壞，整機 質保一年 |
優(yōu)勢特點：
1).擴膜的高度和速度可通過觸摸屏數字設定；
2).工作盤具有恒溫加熱功能，有助于膜的延展性；
3).調整工作盤上升的高度，即可調整經理之間的間距；
4).選配上置圓切自動割膜功能；
5)裝有氣彈簧，翻蓋省力功能；
6).7英寸觸摸屏，顯示參數，執(zhí)行步驟，故障報警；
7).采用電機升降和進口氣缸升降完成擴膜工序，保證擴膜的一致性；
8).采用進口PLC做控制系統(tǒng)，可設定臺盤上升的預熱延時，擴膜延時等功能，更好的提升
| 擴膜機設備工藝要求 | ||
| 序號 | 內容 | 參數 |
| 1 | 擴膜尺寸 | 可擴膜的最大范圍是小于或等于6寸晶圓 |
| 2 | 擴膜質量 | 無崩膜，破膜，擴膜后，產品的圓心度誤差± 2mm以內 |
| 3 | 擴膜機的X、Y方向偏差 | 3毫米(排除貼膜時，晶圓放置的偏差) |
| 4 | 擴膜環(huán)和貼片環(huán)可固定 | 裝有鐵環(huán)放置定位銷 |
| 5 | 工作盤恒溫設計 | 膜周邊擴張均勻適度 |
| 6 | 參數 | 加熱溫度，擴張時間、回程速度均可調 |
| 7 | 特點 | 工作盤升降過程中不會擠壓晶圓 |
技術服務：
1).賣方免費指導、安裝調試、技術支持、培訓、維修；
2).設備安裝調試驗收完成后12個月內賣方負責一年內免費保修(包括正常使用下?lián)p壞的配件)
3).保修期滿后賣方仍負責技術支持，賣方有償提供零部件；
4).賣方提供電話咨詢維修服務，及到廠緊急故障排除；
